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表面(mian)粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)(du)(Surface roughness)是指材(cai)料表面(mian)的(de)(de)(de)(de)微小表面(mian)起伏（波(bo)(bo)(bo)(bo)峰(feng)(feng)、波(bo)(bo)(bo)(bo)谷）的(de)(de)(de)(de)不平度(du)(du)(du)(du)。早在(zai)1920-1930年間(jian)，德國的(de)(de)(de)(de)一(yi)(yi)些研(yan)究人員(yuan)就(jiu)開始(shi)了對表面(mian)粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)研(yan)究。研(yan)究表明，材(cai)料的(de)(de)(de)(de)表面(mian)特性對機械性能(neng)有很(hen)大的(de)(de)(de)(de)影響，而隨著(zhu)機械零(ling)部件的(de)(de)(de)(de)性能(neng)要求和加工(gong)工(gong)藝的(de)(de)(de)(de)提升，零(ling)部件表面(mian)的(de)(de)(de)(de)粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)(du)情(qing)況也變(bian)得尤其(qi)重(zhong)要。粗(cu)(cu)糙度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)(de)形成？如果你仔細觀察機床加工(gong)零(ling)件的(de)(de)(de)(de)過程，你會(hui)注意到零(ling)件的(de)(de)(de)(de)表面(mian)在(zai)刀(dao)片(pian)和機床的(de)(de)(de)(de)作(zuo)用下，表面(mian)呈現(xian)出一(yi)(yi)種復雜的(de)(de)(de)(de)形狀，它大多數情(qing)況下是由一(yi)(yi)系列不同高度(du)(du)(du)(du)、深度(du)(du)(du)(du)和間(jian)距的(de)(de)(de)(de)波(bo)(bo)(bo)(bo)峰(feng)(feng)波(bo)(bo)(bo)(bo)谷組成。這些波(bo)(bo)(bo)(bo)峰(feng)(feng)波(bo)(bo)(bo)(bo)谷非常微小，

個

失(shi)(shi)效(xiao)(xiao)分(fen)析(xi)是對于(yu)電(dian)子(zi)元件失(shi)(shi)效(xiao)(xiao)原因進(jin)行(xing)診斷(duan)，在進(jin)行(xing)失(shi)(shi)效(xiao)(xiao)分(fen)析(xi)的過程中，往(wang)往(wang)需(xu)(xu)要借助儀器設備(bei)，以(yi)(yi)及(ji)(ji)化學類手段進(jin)行(xing)分(fen)析(xi)，以(yi)(yi)確認(ren)失(shi)(shi)效(xiao)(xiao)模式，判斷(duan)失(shi)(shi)效(xiao)(xiao)原因，研究(jiu)失(shi)(shi)效(xiao)(xiao)機(ji)理，提出改善預防措施。其方(fang)法(fa)可以(yi)(yi)分(fen)為有損(sun)分(fen)析(xi)，無損(sun)分(fen)析(xi)，物理分(fen)析(xi)，化學分(fen)析(xi)等。其中在進(jin)行(xing)微(wei)觀形貌檢測的時候，尤其是需(xu)(xu)要觀察斷(duan)面(mian)或者(zhe)內(nei)部結(jie)(jie)構時，需(xu)(xu)要用(yong)到離子(zi)研磨儀+掃(sao)描(miao)電(dian)鏡結(jie)(jie)合(he)法(fa)，來進(jin)行(xing)失(shi)(shi)效(xiao)(xiao)分(fen)析(xi)研究(jiu)。離子(zi)研磨儀目前是普遍使用(yong)的制(zhi)樣工具(ju)，可以(yi)(yi)進(jin)行(xing)不同角度(du)的剖面(mian)切削以(yi)(yi)及(ji)(ji)表面(mian)的拋光和清(qing)潔處理，以(yi)(yi)制(zhi)備(bei)出適合(he)半導(dao)體故障分(fen)析(xi)的 SEM 用(yong)樣品。離子(zi)研磨儀TECH